クロムマスク
マスク断面
基板
ソーダガラス・合成石英ガラス
遮光膜
クロム薄膜
ハーフトーン位相シフトマスク (
half-tone phase-shifting mask
)
マスク断面
基板
合成石英ガラス
遮光膜
Ｃｒ酸化膜 ・ ＭｏＳｉ酸化膜 等
レベンソン位相シフトマスク (Levenson phase-shifting mask)
マスク断面
基板
合成石英ガラス
遮光膜
クロム薄膜 等
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